模块化净化棚又称为模块化洁净棚或者模组式洁净棚，内部可采用高架地板，优化内部的气流组织，也可铺设PVC地板或利用原有的地面。在利用原有地面时，其质量应满足与洁净棚内部洁净度等级相对应的要求。模块化洁净棚只有净化功能，温湿度必须依赖于外部的洁净空间。如果现场允许，也可以单独安装温度控制系统特殊设计的超薄型FFU，采用直流风机，高效低噪，在保证FFU静压箱高度足够的同时，最大限度的降低洁净棚的外高，增大洁净棚的内高，使工作人员没有压抑感。 顶部可封闭，避免了传统洁净棚长期使用集成难以清洁的弊端，顶部四周设进风孔板，可加预过滤器，充分延长FFU的使用寿命。底部四周设回风孔板，可加预过滤器或特殊过滤器，避免洁净棚内产生的尘埃或有害气体对外部空间造成影响。

模块化净化棚特点:

温湿度、灯光、插座、网络等自动控制已完备，且可联线中控室，设备定位完成，接水接电即可运转。
洁净等级变更、洁净室面积增减、迁移回收应用容易。
工程技术已整合，技术层次降低，客户可自行设计规划应用。
气冷室外机或冷却水塔散热均可，即使pcw或冰水也行(控制阀 自动调整水量)。
冷却水、循环风量、压缩机排热回收等多项节能设计，常时运 转不浪费电能。
更衣室、风淋室、机械室完备，实验室可自主操作使用。

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