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模块化净化棚又称为模块化洁净棚或者模组式洁净棚，内部可采用高架地板，优化内部的气流组织，也可铺设PVC地板或利用原有的地面。在利用原有地面时，其质量应满足与洁净棚内部洁净度等级相对应的要求。模块化洁净棚只有净化功能，温湿度必须依赖于外部···
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