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洁净棚配套使用的过滤器般为H13或者H14高效过滤器，这种高效过滤送风口的风速一般在0.3-0.6左右； 为了保证其均匀性，一般需要在出风口加装散流板; 另外：高效过滤器的面速和滤速可以反映高效过滤器的通过风量的能力。面速指高效过滤器断面上的通过气流速度，一般以m/s 表示，V=Q/F*3600，面风速是反映高效过滤器结构特性的重要参数。
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