洁净室等级A.B.C.D基本参数规定:

A级洁净区（百级洁净棚）

洁净实际操作区的气温应为20-24℃。

洁净实际操作区的气体相对湿度应为45%-60%

实际操作区风力：水平风力≥0.54m/s；垂直风力≥0.36m/s。

高效送风口泄漏超过99.97%

光强：>300lx-600lx。

噪声:≤60db(动态检测)

B级洁净区（千级洁净棚）

洁净实际操作区的气温应为20-24℃。

洁净实际操作区的气体相对湿度应为45%-60%

房间换风次数：≥25次/h。

压差:B级相对性户外≥10Pa，根据气旋流入，同级差区应保持一定的压差。

高效送风口泄漏超过99.97%

光强：>300lx-600lx。

噪声:≤60db(动态检测)

C级洁净区（万级洁净棚）

洁净实际操作区的气温应为20-24℃。

洁净实际操作区的气体相对湿度应为45%-60%

房间换风次数：≥25次/h。

压差：C级相对性户外≥10Pa，根据气旋流入，在同等水平的不同区域保持一定的压差。

高效送风口泄漏超过99.97%

光强：>300lx-600lx。

噪声:≤60db(动态检测)

D级洁净区（十万级洁净棚）

洁净实际操作区的气温应为18-26℃。

洁净实际操作区的气体相对湿度应为45%-60%

房间换风次数：≥15次/h。

压差：100.000级相对性户外≥10Pa，

高效送风口泄漏超过99.97%

光强：>300lx-600lx。

噪声:≤60db(动态检测)