洁净棚定义：又称为洁净工作棚与净化棚，是一种快速建立的小型简易洁净室。

洁净棚等级：通常分为百级洁净棚，千级洁净棚，万级洁净棚。

洁净棚的材料：不锈钢方通支架，铁方通支架，铝型材支架，洁净棚四周可用防静电围帘及有机玻璃挡板。

洁净棚工作原理：FFU风机过滤单元经初效过滤器进行第一道过滤，再经过高效过滤器第二道过滤后,整个出风面以匀速送出到洁净棚内，使洁净空气气流呈垂直单向流，保证工作区内所要求的洁净度。

洁净棚的优点：洁净棚安装容易，施工周期期短，同时在要求高洁净度的地方使洁净空气气流呈垂直单向流，保证棚子内工作区所要求的洁净度增设以降低成本。

影响洁净棚的气流因素：影响洁净棚的气流因素很多，如制程设备、人员、洁净室组装材、照明器具等，同时对于生产设备上方气流的分流点，应列入考虑因素。

一般操作台或生产设备等表面的气流分流点，应设于洁净室空间与隔墙板间距2/3之处，如此可使作业人员工作时，气流可从制程区内部流向作业区，而将微尘带走;若分流点配置在制程区前方，将成为不当的气流分流，此时大部份的气流将流至制程区之后，作业员操作所引起的尘埃将被带到设备后面，工作台因而将受到污染，良率也势必降低。

洁净室内的工作桌等障碍物，在相接处均会有涡流现象发生，相对地在其附近之洁净度将会较差，在工作桌面钻上回风孔，将使涡流现象减少最低;组装材料之选择是否恰当、设备布局是否完善，亦为气流是否成为涡流现象之重要因素。

风机从FFU顶部将空气吸入，经初效过滤器，高效过滤器过滤，过滤后的洁净空气在整个出风面以0.45m/s±20%的风速匀速送出到洁净棚内。形成均流层，使洁净空气气流呈垂直单向流，从而保证了工作区内所要求的洁净度。

洁净棚是能快速组建的简易洁净室,其具有安装快速、施工周期短、价格低廉、移动方便等特点，把主要生产工序控制在较小的环境内也是洁净室设计的最佳选择。